ВЛИЯНИЕ РАЗМЕРНОГО ЭФФЕКТА НА СТРУКТУРУ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК GST В АМОРФНОМ И КРИСТАЛЛИЧЕСКОМ СОСТОЯНИЯХ

Аннотация

В работе изучено влияние размерного эффекта на структуру и оптические свойства тонких аморфных и кристаллических плёнок на основе материала с фазовой памятью Ge₂Sb₂Te₅. Плёнки толщиной от 50 до 300 нм получали методом ионно-плазменного магнетронного ВЧ распыления. С помощью рамановской спектроскопии было установлено, что структура аморфных и кристаллических пленок не зависит от их толщины. В отличие от этого, при изучении оптических свойств выявлено, что при увеличении толщины пленок наблюдается смещение края фундаментального поглощения в длинноволновую область спектра. Было выявлено, что с увеличением толщины аморфных и кристаллических плёнок наблюдается уменьшение их оптической ширины запрещённой зоны (E_g), причём основное изменение величины E_g происходит в области толщин от 50 до 100 нм и E_g аморфных пленок заметно больше, чем кристаллических.