РАЗРАБОТКА ВЫСОКОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ НАНО-РАЗМЕРНЫХ ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ НА ОСНОВЕ МЕТАЛЛООКСИДНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ (МОП)
Жарияланды:
2022-12-21Журналдың саны:
№ 4 (2022): «Д.Серікбаев атындағы ШҚТУ Хабаршысы»Бөлім:
СтатьиМақала тілі:
Орыс тіліҚаралымдар:
190Кілт сөздер:
сенсор, оксид цинка, ацетон, полупроводники.Аңдатпа
Получены кристаллические наностержни на основе ZnO методом осаждения под скользящим углом (GLAD) при рективном магнетроннм распылении. Исследована изменение чувствительности с помощью изменения наноструктуры, что потенциально приводит к высокой эффективности газового сенсора. Уменьшена рабочая температура сенсора до комнатной температуры. Определена газочувствительность полученных сенсоров для углекислого газа, ацетона и водорода.
Лицензия
Авторлық құқық (c) 2022 Вестник ВКТУ
Бұл жұмыс Creative Commons атрибуты бойынша лицензияланған. 4.0 Халықаралық лицензия.
Шыныбеков, Е., Сарсембина, М., Тұрлыбекұлы, А., & Солтабаев, Б. (2022). РАЗРАБОТКА ВЫСОКОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ НАНО-РАЗМЕРНЫХ ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ НА ОСНОВЕ МЕТАЛЛООКСИДНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ (МОП). Д. Серікбаев атындағы ШҚТУ Хабаршысы, (4), 254–261. Retrieved from https://journals.ektu.kz/vestnik/article/view/252