МАГНЕТРОНДЫ БҮРКУ ӘДІСІМЕН TIN ЖАБЫНДАРЫНЫҢ ҚҰРЫЛЫМЫ МЕН МЕХАНИКАЛЫҚ ҚАСИЕТТЕРІН ЗЕРТТЕУ
Жарияланды:
2024-06-27Журналдың саны:
№ 2 (2024): "Вестник ВКТУ им.Д.Серикбаева"Бөлім:
СтатьиМақала тілі:
Орыс тіліҚаралымдар:
126Кілт сөздер:
нитрид титан, құрылым, магнетрон, нанофильмдер, магнетронды бүрку.Аңдатпа
Магнетронды бүрку әдістерін қолдана отырып, жаңа, әртүрлі синтезделген, комбинациялық қосылыстар мен материалдарды зерттеу кезінде үлкен назар аударылады. Осы әдісті қолдана отырып, нано масштаб деңгейінде қолданылатын ультра жұқа пленкалардың қажетті тазалық деңгейіне қол жеткізуге болады. Бұл шолу мақаласы магнетронды бүрку әдісін қолдана отырып, белгілі бір жағдайда пленканың өсуін және наноқұрылымды TiN жабындарының қажетті құрамын алуды көрсетеді, титан нитридінің жұқа қабықшаларының құрылымы мен мінез-құлқын зерттейді. Микроқұрылымды мақсатты үлгі қашықтығына зерттеу аясында бірқатар эксперименттер жүргізілді, бұл нанофильмнің өсуін, бүрку кезінде пішіндеуші наноқұрылымдағы дәндердің мөлшерін өзгертуге әкелді.
Лицензия
Авторлық құқық (c) 2024 ШҚТУ Хабаршысы
Бұл жұмыс Creative Commons атрибуты бойынша лицензияланған. 4.0 Халықаралық лицензия.
Осы автор(лар)дың ең көп оқылған мақалалары
| № | Жарияланымның атауы | Авторлар | Тиістілігі | Тілі | Көрулер | Күні | Дәйексөз |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | Медициналық Импланттарды Жабу Үшін Материалдарды Таңдаудың Заманауи Үрдістеріне Қысқа Шолу Және Оларды Алу Технологиялары | Алонцева Д., Сафарова Ю., Хожанов А., Ерболат Д. |
|
RU | 133 | 2023-09-30 |